UV LED Photolithography
UV LED Wafer Stepper
당사의 광대역 UV-LED 광원 ALE/1 및 ALE/1C는 스테퍼를 UV-LED 조명으로
업그레이드하려는 경우에 적합합니다. 당사의 솔루션을 채택하면 공정에 적용해야 할
감광성 고급 포장재를 선택할 때 완전한 유연성을 얻을 수 있습니다.
웨이퍼 스테퍼에서 고성능 UV-LED 조명 기술을 사용하면 1µm 또는
심지어 서브마이크론 범위의 해상도를 달성할 수 있습니다.
뛰어난 출력 안정성과 신뢰성은 소유 비용을 절감하는 동시에
시스템 처리량(WPH)을 높이는 데 도움이 될 수 있습니다.
본문
1X 스테퍼 및 미니 스테퍼로 다양하게 알려진 광대역 웨이퍼 스테퍼는 FOWLP(팬아웃 웨이퍼 레벨 패키징),
WLCSP(웨이퍼 레벨 칩 스케일 패키징) 및 실리콘 관통 경유(through Silicon Via)와 같은 고급 패키징 사용 사례에 필수적입니다.
이러한 고도로 전문화된 단계별 반복 리소그래피 시스템은 MEMS 및 화합물 반도체와 같은 복잡한 미세 구조를 만드는 데 사용됩니다.
첨부파일
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PGL-06-00079-H-Advanced-Light-Engine-ONE-Handout-EN.pdf (1.1M)
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PGL-06-00080-F-Advanced-Light-Engine-ONE-C-Handout-EN.pdf (714.6K)
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