MFMMFC Mass Flow Devices
가스 질량 유량 컨트롤러의 PFLOWC5001 시리즈(OEM 버전)는 범용 가스 유량 모니터 및
제어 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.
추가적으로 Axetris Massflow Controller와 호환됩니다.
PFLOW5002 / PFLOWC5002 시리즈 가스 질량 유량 컨트롤러는 범용 가스 유량 모니터 및
제어 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.
기계적 연결을 위해 표준 또는 매니폴드 구성으로 제공됩니다.
또한 Axetris 질량 흐름 컨트롤러/유량 센서와 호환됩니다.
본문
PFLOW(C)5001 (Mass Flow Controller) | PFLOW5001(Mass Flow Meter) |
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Measuring range [SCCM] 0 to 0.05...20 SLPM Output signal Linear, 0.5...4.5 VDC, RS232, Rs485 Modbus Accuracy [± % FS] max. ±1 r.d. or ±0.2 f.s whichever is larger Supply voltage [VDC] 8...24 Humidity range 0...95% RH, no condensation Supplier Angst+Pfister Sensors and Power | Measuring range [SCCM] Output signal Accuracy [± % FS] max. Supply voltage [VDC] Humidity range Supplier |
PFLOW5002 / PFLOW(C)5002
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Measuring range [SCCM] 0 to 0.05...20 SLPM Output signal Accuracy [± % FS] max. Supply voltage [VDC] Humidity range Supplier
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첨부파일
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MFCMass Flow Controllers_PFLOWC5001.pdf (1.5M)
0회 다운로드 | DATE : 2024-10-11 10:18:11 -
MFCMass Flow Controllers_PFLOWC5002.pdf (829.0K)
0회 다운로드 | DATE : 2024-10-11 10:18:11 -
MFMMass Flow Meters_PFLOW5001.pdf (1.5M)
0회 다운로드 | DATE : 2024-10-21 11:15:48 -
MFMMass Flow Meters_PFLOW5002.pdf (829.0K)
0회 다운로드 | DATE : 2024-10-21 11:15:48